УСТАНОВКА ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ

«PVD PRODUCTS» PLD – 2000 MBE

Установка лазерной абляции – это установка для осуществления процесса быстрого плавления и испарения материала мишени под действием высокоэнергетического лазерного излучения, с последующим стехиометрическим переносом материала от мишени к подложке в вакууме и образованием на поверхности моно- и многослойных покрытий.

 

Технические характеристики:

Диаметр подложки

50 мм

Температура подложки

950 °С (в атмосфере кислорода) – для непрозрачных материалов; 850°С – для прозрачных материалов

Равномерность прогрева

± 6 °С по всей площади подложки

Рабочий диапазон давлений

5•10-8 ... 0,5 Торр.

Количество мишеней

6 мишеней Ø 50 мм

Лазер

СОМРех Pro 110 Excimer Laser, 248 нм

Угол падения луча на мишень

60°