ЭЛЛИПСОМЕТР СПЕКТРАЛЬНЫЙ

«ЭЛЛИПС-1891»

 





Спектральный эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.)

Технические характеристики:

Источник света

галогенная лампа/опция- ксеноновая лампа высокого давления

Спектральный диапазон, нм

350 - 1000 nm/опция  250 - 1000

Время измерения на одной длине волны

1 мс

Полный спектр

8-20 сек.

Диаметр светового пучка

3 мм

Диапазон углов падения света, фиксировано

45, 50, 55, 60, 65, 70, 90 град

Предметный столик

Ручное перемещение

25 мм  по осям X.Y

Вертикальное перемещение

0-20 мм

Регулировка наклона плоскости предметов

Воспроизводимость

=0.02°, = 0.05°