ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ

K. H. FREDERICK CO.

 

 

Используется для напыления пленок металлов (в том числе тугоплавких), сплавов, полупроводниковых соединений и диэлектриков с температурой плавления вплоть до 3500°С.

В электронно-лучевом испарителе в качестве анода выступает графитовый тигель с испаряемым материалом. При бомбардировке направленным пучком ускоренных при 6,8 кВ электронов происходит нагрев и испарение материала. Испаренный материал осаждается на подложке тонким слоем материала. Мониторинг толщины осажденного слоя проводится при помощи кварцевого измерителя толщины, контроль осаждения регулируется затвором.

 

Технические характеристики:

Вакуум

3х10-8 Торр.

Температура

до 3500°С