Ю.В. ГОРЕЛКИНСКИЙ АТЫНДАҒЫ ЭПР-СПЕКТРОСКОПИЯ ЛАБОРАТОРИЯСЫ

Лаборатория жетекшісі: PhD Бейсенов Ренат Елемесович

Ғылыми-зерттеу бағыты

Жабдықтар

Булы фазадан плазмохимиялық тұндыру қондырғысы AX5200-ECR, өндіруші Seiki Technotron Corp., Жапония

Мақсаты: жартылайөткізгішті құрлымдарды плазмохимиялық тұндыру әдісі бойынша синтездеу

Техникалық сипаттамасы:жұмыс газдары – метан, силан. Қуаттылығы 1.5 кВт, жиілігі 2.54 ГГц аса жоғары жиілікті қысқа толқын генераторы. Үстелшенің максималды температурасы 900°С. Үлгі диаметрі 5 дюйм. Фон вакуумы 10-3 Торр.

Булы фазадан плазмохимиялық тұндыру қондырғысы AX5200-ECR, өндіруші Seiki Technotron Corp., Жапония

SOLVER PRO-M зондты сканерлеуші микроскоп, фирма NT-MDT, Зеленоград

Мақсаты: қатты дене бетін ауа немесе сұйық ортада зерттеу

Ерекшелігі мен мұмкіндігі: микроскоп 6х6 мкм үлгі арқылы сканерлейтін екі сканермен және микроскоп 50х50 мкм үлгі зонд арқылы сканерлейтін екі сканермен жабдықталған, екі сканердің биіктік бойынша максималды ажыратымдылығы 3 мкм.

SOLVER PRO-M зондты сканерлеуші микроскоп, фирма NT-MDT, Зеленоград

JES-FA200 электронды парамагнитты резонанс спектрометрі, өндіруші JEOL

Мақсаты: көлемді үлгілерді ЭПР спектроскопия әдісімен зерттеу.

Техникалық сипаттамасы: өлшеу диапазоны ~9.4 GHz (X – Band) және ~35 GHz (Q – Band), қысқа толқынның тұрақтылығы ~ 10-6, шығыс қуатының диапазоны 200 мВт-тан 0,1 мкВт-қа (63дБ) дейін, сапалылығы (Q – фактор) 18 000.

PLD MBE камерасы және coherent УК эксимерлі лазері

PLD MBE камерасы және coherent УК эксимерлі лазері

Мақсаты: лазерлі абляция арқылы жұқа қабықшадларды тұндыру.

Ерекшелігі мен мұмкіндігі: импульсті ультракүлгін лазер көмегімен қаттыоксидті электролит, жартылайөткізгіштер мен ферроэлектриктердің жұқа қабықшаларын тұндыру.

PLD MBE камерасы және coherent УК эксимерлі лазері

Сканерлеуші электронды микроскоп «JEOL» JSM-6490LA

Мақсаты:топографический и качественный фазовый анализ поверхности. бейорганикалық текті әртүрлі материалдардың микроқұрылымын зерттеу, топографиялық және сапалы фазалық талдау.

Ерекшелігі мен мұмкіндігі: нысан бетінің жоғары ажыратылымдылығтағы суретін, сонымен қатар құрамы жөнінде мәліметтерді және кейбір беттік қабаттардың сипаттамаларын алуға арналған. Электрондыи шоғырлардың зерттелетін нысаннмен өзара әрекеттесу қағидасына негізделген. Үлгінің элементтік құрамын анықтауға кеңінен қолданылатын энерго-дисперсиялы спектрометр (EDS) орнатылған.

Электронды микроскоп «JEOL» JSM-6490LA