СПИНКОУТЕР

WS-650MZ-23NPP

 

Спинкоутер применяется для нанесения тонких пленок фоторезиста на гладкую поверхность методом центрифугирования.

 

Технические характеристики:

Внутренний диаметр

241 мм

Возможность обрабатывать пластины диаметром

до ~150 мм или квадратные подложки размером до 127х127 мм

Скорость вращения

до 12 000 оборотов в минуту

Возможность подачи

до 3-х газов

Вакуум